高真空光学多层镀膜机采用e型电子枪蒸发源，  可镀各种高熔点金属和氧化物．材料，  可制备多种光学眼镜乍、  电学膜、超硬膜及装饰膜等，  配有光学膜厚控制系统，  电控系统采用P L C控制，  可实现手动、  半自动和自动3种方式，  是光学仪器、激光工业、眼镜行业及照相行业等必需设备。

光学镀膜机主要技术参数
	ZZG-600	ZZG-800	ZZG-1000	ZZG-1200	ZZG-1300
真空室尺寸	Φ600X750	Φ800X900	Φ1000X1100	Φ1200X1250	Φ1300X1350
结构型式	立式
工件架结构	球面拱形	球面拱形、行星可选其一
夹具转速 转/分	0-45R/min 可调
烘烤温度℃	最高温度300℃ 可调，发热元件管状加热器或溴钨灯
电阻蒸发源	2组 每组5KW		2组 每组2KW
电子束蒸发源	E型电子枪；束偏转角270º，功率6KW		E型电子枪；束偏转角270º，功率8KW
离子轰击	直流电压3KV，功率0.6KW，棒状阴极
光学膜厚监控系统	膜厚控制仪MKG-500或GMHK9704，电色仪：WDG-30光栅单色仪
充气系统	自动压强控制仪
真空系统(可根据用户要求配置)	2X-30旋片泵 KT-400扩散泵或 F-250涡轮分子泵	2X-70旋片泵 2X-4旋片泵 KT-500扩散泵或 F-400涡轮分子泵	2X-70旋片泵 2X-8旋片泵 KT-630扩散泵 ZJ-300罗芡泵	2X-70旋片泵 2X-8旋片泵 KT-630扩散泵 ZJ-600罗芡泵	2X-70旋片泵 2X-15旋片泵 KT-630扩散泵 ZJ-600罗芡泵
极限压力Pa	≤3X10-4
恢复真空时间（空载，从大气抽至5X10-3Pa）	≤15分钟