本公司生产的墙幕玻璃磁控溅射镀膜机,采用平面磁控溅射靶,可以在大平板浮法玻璃上镀制金属单质膜、复合膜、L E辐射膜,也可在小弯的弧形玻璃上镀膜。 o最大可镀玻璃尺寸:2440×330 0(毫米) o多真空室,多溅射室结构,可供用户选择,真空室之间有真空锁隔离。 o卧式磁控生产线有单端、双端形式,玻璃从清洗、镀膜、检测等一次完成。 o生产线采用PLC全过程控制,并配有彩色显示屏,显示镀膜工艺过程参数。


| 墙幕玻璃磁控溅射镀膜设备主要技术参数 |
| 型号 |
JP-2000 |
JP-2500 |
JP-3300 |
JP-2000 |
JP-2500 |
JP-2500 |
| 可镀玻璃最大尺寸 |
1500X2000 |
1880X2440 |
2440X3300 |
1500X2000 |
1880X2440 |
2440X3300 |
| 生产节拍(分钟/片) |
3 |
3 |
3 |
3 |
3 |
3 |
| 极限压力(Pa) |
2X10-3 |
2X10-3 |
2X10-3 |
2X10-3 |
2X10-3 |
2X10-3 |
| 靶数量(个) |
3 |
3 |
33 |
3 |
3 |
3 |
| 溅射功率(KW) |
80X3 |
80X3 |
100X3 |
80X3 |
80X3 |
100X3 |
| 装机功率(KW) |
300 |
380 |
420 |
200 |
260 |
280 |
| 真空室数量(个) |
9 |
9 |
9 |
4 |
4 |
4 |
| 其中溅射室数量(个) |
3 |
3 |
3 |
3 |
3 |
3 |
| 控制方式 |
PCL |
PCL |
PCL |
PCL |
PCL |
PCL |
| 备注 |
水平式双端 |
水平式单端 | |